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精密定位平臺/掃描臺

亞納米/納米平移臺(壓電直推型,0-1500μm行程)納米平移臺(壓電馬達型,10-1500mm行程)亞微米平移臺(直線/步進電機,20-1000mm行程)顯微鏡專用壓電定位/掃描臺超小型平移臺(亞微米,15mm,已集成電路)超低振動亞微米平移臺(氣體軸承,1500mm,10-1000KG)大行程二維電控載物臺壓電旋轉平臺快速反射鏡皮米精度位移測量儀納米級電容位移傳感器 顯示全部
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亞納米/納米平移臺(壓電直推型,0-1500μm行程)

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高精度亞納米壓電平移臺!

所屬類別:位移臺/偏轉鏡/光學平臺 ? 精密定位平臺/掃描臺

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姓名:李工(William)

電話:156 1809 2363(微信同號)

郵箱:[email protected]


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    姓名:李工(William)

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高精度亞納米壓電平移臺


壓電平移臺是以壓電陶瓷為驅動,以柔性鉸鏈為導向,通過壓電陶瓷的形變精確控制平臺的移動。該平臺可提供X、XY及XYZ等不同維度平臺,行程最大可達1500微米。采用硅高精度位移傳感器閉環反饋,使平臺擁有毫秒級響應速度,亞納米級的分辨率,并且擁有非常低的底噪。被廣泛應用于,超分辨顯微、光鑷系統、原子力顯微鏡、顯微掃描、光路調整、納米操控技術、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。 

昊量光電推出的壓電平臺按維度可以提供以下產品:

1)單軸壓電平臺

單軸壓電平臺是可以在單個維度上提供精確定位的產品,主要包含X壓電平臺、Z軸壓電平臺、物鏡掃描臺、一維快反鏡。

①X軸壓電平臺

一維平臺可提供不同行程、中空/非中空等不同類型的產品

型號

AUHS1

AUHS1H

AUC-X.100

AULF1

AUSLR

產品圖片


行程(μm)

10/30/50/70/100

30/50/70/100

100

100/200/300

300/500/8001500

分辨率(nm)

0.01/0.03/0.05/0.07/0.1

0.03/0.05/0.07/0.1

0.1

0.1/0.2/0.3

0.3/0.5/0.8/1.5

重復精度(全行程)nm

0.02/0.06/0.1/0.14/0.2

0.06/0.1/0.14/0.2

0.2

0.2/0.4/0.6

0.6/1/1.6/3

本底噪聲nm

0.001/0.003/0.005/0.007/0.01

0.003/0.005/0.007/0.01

0.01

0.01/0.02/0.03

0.03/0.05/0.08/0.15

傳感器

硅傳感器閉環反饋

②Z軸壓電平臺

型號

Z-stage

C-Z.100

Z-insert

Z-insert-K-TYPE

Z-insert-INC

LT-Z

產品圖片

行程(μm)

5/10/25/50

100

100/200/300/500

100/200/300

100/200/300/500

100/200/300/500

分辨率(nm)

0.005/0.01/0.025/0.05

0.1

0.1/0.2/0.3/0.5

0.1/0.2/0.3

0.1/0.2/0.3/0.5

0.1/0.2/0.3/0.5

重復精度(nm)

0.01/0.02/0.05/0.1

0.2

0.2/0.4/0.6/1.0

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6/1.0

0.2/0.4/0.6/1.0

本底噪聲nm

0.0005/0.001/0.0025/0.005

0.01

0.01/0.02/0.03/0.05

0.01/0.02/0.03

0.01/0.02/0.03/0.05

0.01/0.02/0.03/0.05

傳感器

硅傳感器閉環反饋

③物鏡掃描臺

型號

FOCHS.100

FOC

產品圖片

行程(μm)

100

100/200/300

分辨率(nm)

0.1

0.1/0.2/0.3

全行程重復精度(nm)

0.2

0.2/0.4/0.6

本底噪聲nm

0.01

0.01/0.02/0.03

傳感器

硅傳感器閉環反饋

④一維快反鏡

型號

TT1.5

產品圖片

偏轉角度(mrad)

5/10

分辨率(μrad)

0.005/0.01

全行程重復精度(μrad)

0.01/0.02

本底噪聲(μrad)

0.0005/0.001

傳感器

硅傳感器閉環反饋

2)兩軸壓電平臺

兩軸壓電平臺可提供兩個維度的平移和偏轉主要包括XY壓電平臺和二維快反鏡

①XY壓電平臺

型號

LFHS2

LTHS2

C2.100

LFS2

LT2

BIO2

LF2

MWP2.800

產品圖片

行程(μm)

30/50/75

30/50/75

100

100

100/200/300

100/200/300

100/200/300

800

分辨率(nm)

0.03/0.05/0.075

0.03/0.05/0.075

0.1

0.1

0.1/0.2/0.3

0.1/0.2/0.3

0.1/0.2/0.3

0.8

重復精度(全行程)nm

0.06/0.1/0.15

0.06/0.1/0.15

0.2

0.2

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6

1.6

本底噪聲nm

0.003/0.005/0.0075

0.003/0.005/0.0075

0.01

0.01

0.01/0.02/0.03

0.01/0.02/0.03

0.01/0.02/0.03

0.08

傳感器

硅傳感器閉環反饋

②二維快反鏡

型號

TT2.5

產品圖片

偏轉角度(mrad)

5/10

分辨率(μrad)

0.005/0.01

全行程重復精度(μrad)

0.01/0.02

本底噪聲(μrad)

0.0005/0.001

傳感器

硅傳感器閉環反饋

3)三軸壓電平臺

產品圖片

描述

行程

LT3是一款三維平臺,可提供100,200300微米的行程。平臺使用硅傳感器厚度只有20mm,該平臺很容易集成到倒置顯微鏡中

X-Y-Z
  100μm
  200μm
  300μm


BIO3是一款超低剖面的三維定位平臺可集成在任何倒置顯微鏡中。載玻片可以放置在其矩形孔中

X-Y-Z
  100μm
  200μm
  300μm


LF3是緊湊型3軸壓電平臺,具有66mm方孔,X軸和Y軸行程范圍為100μm200μm300μmZ軸行程為50μm   建議要求小尺寸和通光孔時使用。

X-Y
  100μm
  200μm
  300μm

Z

50μm

LFS3是一款3軸納米定位平臺,XY行程為100μmZ行程20μm,通光孔徑40 x 40 mm

X-Y
  100μm
  Z

20μm

LFHS3是一款高速三軸納米定位臺,諧振頻率高于2k,通光孔徑達66x66mm,可實現高速掃描,階躍時間可達2ms

X-Y
  75μm

Z

50μm


LTTHS3是一款超薄高速三維定位平臺,可配合任何倒置顯微鏡使用,可實現高速掃描

X-Y
  75μm

Z

50μm

C3.100是一款緊湊型平臺,是光纖對準、雙光子聚合、激光直寫等應用的理想產品

X-Y-Z
  100μm
 
 

CUBE3是一款3軸緊湊型納米定位平臺,可沿XYZ提供100200μm的運動。其緊湊的設計使其成為光纖對準,雙光子聚合,激光寫入等應用的的理想工具

X-Y-Z
  100μm
  200μm



SPM3平臺是一個3軸超高速納米定位平臺,沿XY提供75μm的行程,兩個軸上的共振頻率高于2kHz

 SPM3平臺的Z軸具有高達50μm的行程范圍,諧振頻率高達12.5kHz,當與高功率控制器一起使用時,SPM3.5Z軸的階躍響應時間可以小于毫秒。因此,SPM平臺專為要求苛刻的計量應用而設計,例如原子力顯微鏡。

X-Y
  75μm

Z

5μm

10μm

25μm

50μm



SPM3LR壓電平臺是3維定位平臺,X軸和Y軸的位移為   100μm200μm300μm

Z軸部分的行程最高可達50μm并具有高達12.5kHz的諧振頻率。 SPM3LR.xxx.05Z軸的階躍響應時間可以小于毫秒。

因此,SPM3LR載物臺設計用于要求苛刻的計量應用,例如原子力顯微鏡。

X-Y
  100μm

200μm

300μm

Z

5μm

10μm

25μm

50μm


主要特點


主要應用

高分辨率(0.01nm
大行程1500μm
高速度,諧振頻率可達7000Hz
采用硅傳感技術

超低底噪
柔性鉸鏈導向

 


納米刻蝕

超分辨顯微鏡

原子力顯微鏡
干涉測量
高速聚焦
自適應光學
超分辨顯微鏡
粒子追蹤

 



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